采用直驅(qū)伺服電機(jī)的潔凈機(jī)械手、 Aligner，實(shí)現(xiàn)高Throughput。 Loadport可在Frame的前后和兩側(cè)增加各種Unit?？梢院蚈HT和Stocker直接對(duì)接。

	兼容200mm/300mm Wafer
	多種取放片方式可選
	可讀取Wafer上、下面ID
	OHT、Stocker可對(duì)應(yīng)
	可選配邊緣檢測(cè)功能