VAG 陶瓷系列運動平臺是 XIVI持續在氣浮平臺的研發設計與制造的基礎上，結合陶瓷材料的高剛度、低熱膨脹等材料優勢，加之XIVI特有的加工技術、精密結構分析與設計領域的專業優勢，專門為幫助當今半導體工業設備制造業實現高精度、高產出率目標而研發的系列平臺。VAG 陶瓷系列運動平臺,實現了納米級重復定位和亞微米級平面度，兼具高速與穩定性，適合半導體、光學檢測及科研等高端應用。

	高精度
	零摩擦導向：采用氣浮支撐，無接觸、無磨損，實現平滑靜音的納米級運動。
	低熱膨脹陶瓷結構：保證長時間熱穩定性。
	高剛度 & 輕量化：陶瓷材料強度高、重量輕，平臺動態響應快，固有頻率高。