VXT系列平臺由直線交叉滾子軸承、直線電機(jī)和一個非接觸式線性編碼器組成。這個系列平臺采用了中心驅(qū)動的無鐵心運(yùn)動，它能產(chǎn)生零齒槽效應(yīng)，以確保平穩(wěn)地控制速度并進(jìn)一步提高運(yùn)行效率。該系列的平臺高速性能優(yōu)良和準(zhǔn)確。

	VXT I-L SERIES  特征
	高分辨率（1nm)，高重復(fù)定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)
	具有納米級性能并且行程較長
	運(yùn)動誤差小、穩(wěn)定精度高
	具有抗蠕變特性
	高動態(tài)特性
	VXT I-XY SERIES  特征
	高分辨率(1nm)，高重復(fù)定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)
	具有高度集成化的XY直線電機(jī)納米平臺
	具有納米級性能并且行程較長
	運(yùn)動誤差小，穩(wěn)定精度高
	具有抗蠕變特性
	直接驅(qū)動技術(shù)的高動態(tài)性能